精密交叉系統(tǒng)TLM
優(yōu)點(diǎn):
·最小穩(wěn)定時(shí)間可提高效率和輸出
·幾乎無振動(dòng)操作
·即用型系統(tǒng)
特點(diǎn):
·精確定位在亞微米范圍內(nèi)
·高動(dòng)態(tài)直接驅(qū)動(dòng)
·精密交叉滾柱導(dǎo)軌帶防滑系統(tǒng)
TLM是交叉工作臺(tái)系統(tǒng)，結(jié)合了精密導(dǎo)軌非常高的導(dǎo)向準(zhǔn)確度。無鐵芯線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和光學(xué)線性編碼器可實(shí)現(xiàn)亞微米范圍內(nèi)的精確定位。TLM開式框架XY平臺(tái)最初設(shè)計(jì)用于測(cè)量和激光應(yīng)用。
技術(shù)數(shù)據(jù)